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光敏聚合物技術(shù)

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時(shí)間:2019-04-18來源: 點(diǎn)擊:101493次

摘要:

光敏聚合物是指具有光功能圖案的單體或聚合物,當(dāng)暴露在少量的光能(可見光和不可見光)下,其化學(xué)結(jié)構(gòu)易改變。

光敏聚合物,廣泛應(yīng)用于制造具有特殊特性的保護(hù)膜/膠帶產(chǎn)品。

使用的技術(shù)包括以下內(nèi)容:
基于光敏聚合物的粘合劑控制技術(shù)
在半導(dǎo)體晶片(晶圓)背面研磨和切割時(shí),需要使用高粘的膠帶固定,而在完成加工后,又需要方便撕掉膠帶。
由于光敏聚合物在紫外線照射下性能會(huì)發(fā)生改變,我們通過深入研究,設(shè)計(jì)了一種粘合劑,通過紫外線的照射可以明顯降低粘性,這種膠粘劑已經(jīng)用于保護(hù)和固定半導(dǎo)體晶片的膠帶中,有效提高了半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率。


圖案形成材料設(shè)計(jì)技術(shù)
雖然聚酰亞胺樹脂在其耐熱性,化學(xué)穩(wěn)定性,電絕緣性和機(jī)械強(qiáng)度方面都很突出,但是其加工相關(guān)的性能卻略顯不足,比如圖案形成。


為了努力實(shí)現(xiàn)能夠產(chǎn)生精確圖案的光敏聚酰亞胺樹脂,我們?cè)O(shè)計(jì)并合成了專用的光敏劑,其在暴露于光線時(shí)可改變顯影溶液的溶解度。


這款產(chǎn)品用于制造細(xì)線薄膜金屬電路,如:用于形成光波導(dǎo)的光敏聚酰亞胺樹脂。

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